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微波等离子体应用

时间:2008-08-15 03:07:46  浏览:        

一、概述:

  目前低温等离子体(温度为2000~50000K)已得到广泛应用,工业上已成为一种重要的工艺手段,例如用等离子弧进行切割、焊接、喷涂;制造各种新颖的光源和显示器;热电直接转换的磁流体发电等。在化工部门,等离子体化学已成为一个十分活跃的新领域。在微电子工业,等离子体刻蚀和气相沉积应用得十分广泛。以上情况表明,低温等离子体已逐渐渗透到很多领域,展示了广阔的前景。

 

 

二、用微波激发等离子体有如下优点:

 1.有较高的电离和分解程度

  2.电子温度和离子温度对中性气体温度之比非常高,运载气体保持合适的温度。这个特性,在气相沉积的情况下,可使基底的温度不会过高。

 3.能在高气压下维持等离子体。

 4.没有内部电极,在等离子容器内,没有工作气体以外的任何物质,是洁净的,无污染源。等离子发生器可以保持长寿命。

 5.等离子可以采用磁约束的方法,约束在约定的空间内,微波结和磁路可以兼容。

 6.安全因素高。高压源和等离子体发生器互相隔离,这是直流等离子体不能达到的。微波泄漏小,容易达到辐射安全标准。这是高频感应等离子体难以达到的。

 7.微波发生器是稳定的,易控的。

  8.微波等离子体,在许多情况下是一种比较宁静的等离子体,不象直流放电那样伴随很高的噪声级。

三、微波激发等离子体的多种形式:

  1.微波传输线和谐振腔。

  2.慢波结构边缘场。

  3.近场微波天线。

  4.同轴基表面波激发等离子体柱和波导基表面波激发等离子体柱。

  5.利用电子回旋共振激发等离子体。

  
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